ConFlat法蘭緊固方法和注意事項
選擇合適的墊片,對于需要高溫烘烤的超高真空應用,強烈建議采用鍍銀墊片。
對于烘烤溫度超過 200°C 的應用,建議使用鍍銀螺栓(銀充當潤滑劑),或者在螺紋處涂抹高溫潤滑劑,以防止螺紋損壞或咬死。
在處理和安裝 ConFlat 法蘭時,建議在組裝過程中使用無塵手套。手上的汗漬、油漬等殘留物,哪怕是最輕微的指紋,都會影響抽真空的效率。
仔細檢查法蘭刀口處是否有缺口、劃痕,然后將墊片放在法蘭的凹槽中,確保墊片正確就位。如果法蘭面是豎直的,可以使用下面的輔助工具,避免安裝時墊片掉落或錯位。
先用手將所有螺栓分別擰上,然后按照交叉擰緊的原則,將螺栓每次擰緊 1/4 到 1/2 圈,直至適當的扭矩值或兩個法蘭平面互相接觸。
高真空和超高真空設備通常都是精密儀器設備,對設備上的各個零件的位置都有很高的要求,所以會引起一些局部的零件比較集中,或者位置比較特殊缺少扳手空間,這些地方可以使用如下的板螺母(Plate nuts)替代普通螺母。
烘烤時注意溫度控制,金屬墊片在墊片變形的過程中,會產生加工硬化,這使得墊片會產生一定的“彈性”,在溫度劇烈變化時仍然能保持密封。有證據表明,長時間烘烤至 550°C 會使銅從其加工硬化狀態部分退火而失去彈性,導致法蘭在冷卻時發生泄漏。